Optická a dotyková metrologie pro absolutní charakterizaci tvaru
Optical and tactile metrology for absolute form characterization (IND10 - Form metrology)
Tohoto projektu se účastnilo 7 metrologických institutů (PTB, ČMI, METAS, LNE, MKEH, SMD, VSL) a 5 technologických firem (z Německa a Nizozemska). Cílem projektu bylo zlepšení měření obecného tvaru na úroveň přesnosti 10 nm a pro roviny i pod 1 nm a to pomocí kontaktních i bezkontaktních metod. Jde například o zpřesnění charakterizace tvaru asférické plochy, který je hojně využíván ve vědeckých systémech (teleskopy, synchrotrony) či při výrobě (polovodičová litografie), ale také i v méně náročných optických prvcích, které zažívají prudký rozvoj a jsou nyní běžnou součástí fotoaparátů či CD/DVD mechanik.
ČMI LPM Praha se pod vedením Mgr. Petra Křena, pkren@cmi.cz zapojilo do projektu jak v oblasti kontaktních měření (zkoumáním vlivu deformací předmětu při měření), tak i výzkumem s cílem zlepšování velmi přesných bezkontaktních měření rovinnosti optických ploch, které slouží jako referenční v optických i mechanických přístrojích.