Metrologie znečisťujících plynných látek ve výrobním prostředí
Metrology for airbone molecular contamination in manufacturing environments (IND63 - MetAMC)
Význam projektu spočívá v měření a z toho vyplívající kontrole znečisťujících molekul v plynné fázi ve velmi čistých výrobách. Provozy s důrazem na čistotu prostředí jakou vyžaduje např. polovodičový průmysl, jsou náchylné k vyšší míře “zmetkovosti”, pokud není zajištěna dostatečná kontrola složení provozní atmosféry. Rychle a spolehlivé metody pomohou dosáhnout lepších výrobních parametru, a tudíž sníží náklady spojené s produkty nesplňujícími kritéria kvality.