Metrologie pro polohování v šesti stupních volnosti
Metrology for movement and positioning in six degrees of freedom (IND58 - 6DoF)
Cílem projektu je integrace většího množství senzorů délky a posunutí a tímto způsobem zpřesnit měření rozměrů mikro- a nanostruktur. Pomocí měření ve všech stupních volnosti je možné minimalizovat problémy způsobené Abbeho chybou, což je jeden z významných příspěvků k nejistotě u mnoha složitějších systémů pro délková měření, jako je například souřadnicový stroj, nebo rastrovací sondový mikroskop. Projektu se účastní šest metrologických institutů (PTB, NPL, VSL, ČMI, METROSERT, LNE).
ČMI pod vedením Mgr. Petra Klapetka, PhD., pklapetek@cmi.cz se v projektu zaměřuje na vývoj testovacího zařízení pro polohovací systémy (ve spolupráci s NPL) a na vývoj metod pro metrologické zabezpečení vysokorychlostních měření pomocí rastrovací sondové mikroskopie (ve spolupráci s univerzitou s Bristolu).